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TWI612182B - 用蝕刻氣體蝕刻半導體結構的方法

術語「圖案蝕刻(pattern etch)」或「圖案化蝕刻(patterned etch)」係指在含矽層之堆疊上蝕刻非平面結構，諸如圖案化遮罩層。 術語「選擇性(selectivity)」意謂一種材料之 ...

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