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蝕刻半導體
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等離子乾蝕刻 - 矽碁科技股份有限公司
乾蝕刻又被稱為等離子乾蝕刻,是從另一種材料的表面去除材料的過程。 ... 因此,RIE製程是化學物理蝕刻製程,也是半導體製造中用於構造各種薄膜的最重要製程。
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