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等離子乾蝕刻 - 矽碁科技股份有限公司

乾蝕刻又被稱為等離子乾蝕刻，是從另一種材料的表面去除材料的過程。 ... 因此，RIE製程是化學物理蝕刻製程，也是半導體製造中用於構造各種薄膜的最重要製程。

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