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蝕刻半導體
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第二章 感應耦合電漿蝕刻與AlGaN/GaN HEMT
本章我們將介紹氮化鎵之基本材料性質、閘極掘入工作原理與電漿蝕刻基. 本原理。 ... 的矽半導體製程、以及近年來在功率元件亦相當熱門的碳化矽(SiC)半導體,氮.
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