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透明導電薄膜特性及光電元件應用 - 大永真空設備

至1980年代，磁控濺鍍(magnetron sputtering)的開發，利用低溫成膜製程，不論在玻璃及塑膠基板均能達到低電阻率、高穿透性的氧化銦錫(Indium TinOxide, ITO)薄膜。2000年 ...

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