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薄膜電阻
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論文名稱: 熱處理氣氛對浸漬氧化銦錫薄膜特性之影響 ... 薄膜導電性有非常大之影響,若通以正確的還原氣體,薄膜片電阻值(sheet resistance)甚至可以達50Ω/□以下。
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