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薄膜电阻用磁控溅射沉积氮化钽的可靠性及特性,Thin Solid Films

在MLC 衬底上生长的TaN 薄膜的粘合强度随着衬底温度升高到300 °C 而增加。电阻变化 ... 本研究的结果表明，本研究中描述的TFR 适用于具有实际应用的嵌入式无源电阻器， ...

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