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非接觸薄膜電性檢測技術與應用 - 機械工業網

目前片電阻檢測方法多使用四點探針方法，但因屬接觸式，必須在靜止情況下量測，速度無法提昇，且探針亦容易刺穿軟性導電層而造成破壞，所以必須發展非接觸阻抗量測來因應 ...

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