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提高Ni-Cr 合金薄膜电阻稳定性的工艺研究 - 表面技术

Ni-Cr 合金薄膜由于具有较低的电阻温. 度系数、稳定的电性能、高敏感度且能适应严苛环境，. 使其成为研究热点[2]，在薄膜电子器件和薄膜传感器. 上也得到广泛应用。

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