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碩士論文矽鉻靶材及濺鍍條件對薄膜電阻特性影響之研究

不論在何種濺鍍條件下，薄膜的面電阻值會隨著薄膜厚度的增加， ... 以Si-Cr 薄膜而言，目前多半被應用在電子被動元件的電阻器上，如表1-1. 中[8]所示。而影響薄膜電阻 ...

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