金屬化步驟中,一般利用蒸鍍(evaporation)或濺鍍(sputter)在晶. 圓背面形成一層或多層金屬層,此金屬層可做為接合/導熱用. 的金屬層,也可再接合基材以達到較佳的散熱及 ...
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