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芯片製造— 半導體工藝製程實用教程, 6/e | 天瓏網路書店

第六版修訂了微芯片製造領域的新進展， 討論了用於圖形化、 摻雜和薄膜步驟的先進工藝和尖端技術， 使隱含在復雜的現代半導體製造材料與工藝中的物理、 化學和電子的基礎 ...

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