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V 形彎曲懸樑熱動式微型致動器自然頻率之分析(On Natural ...

X 分別表示表示結構系統離散. 節點座標之加速度向量、速度與位移。 欲得公式(3)之解(t). X ，首先須分析系統的自. 由振動，即令F(t) = 0，並解其自然頻率，ω。對一.

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