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及由該矽聚合物形成薄膜之方法 - Google Patents

本發明之再一目的係提供一種製造寡聚矽烷或聚矽烷之方法，其包含將一化學式A n H 2n＋2 之矽烷化合物及/或一化學式c－A m H 2m 之環矽烷化合物與實質上由7－12族過渡金屬 ...

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