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碳化矽晶體材料技術發展

這是因為晶圓在SiC 元件中佔據~50% 的成本,且其晶體質量直接影響組件製造. ... 科學家的努力,嘗試用不同的方法來製作碳化矽單晶,一直到1995年美國 ...

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