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項次 產出年度 是否已存在於專利暨可移轉技術資料庫中 領域別 ...

本發明揭示一種藉由比對複數條模擬繞射圖譜與一量測繞射圖譜在一特徵區域內之圖譜 ... 之後，計算該離焦偏移量對該級數之變化率，並根據該預設光柵之結構參數與該變化 ...

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