XPS 縱深成份分析顯示,未處理銅試片表面之氧含量在深度2 nm. 深度時仍然超過10 at%,而分別經過電解拋光、檸檬酸或甲酸蒸氣處理後的. 試片大多在深度0.5 nm 時氧含量 ...
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