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GCIB-TOF-SIMS

表面汙染薄膜中的添加劑分析. 有機薄膜中的組成分布解析 ... Ar-GCIB 縱深剖析. Cs單原子縱深剖析 ... 濺射（微損害）後的表面分析仍可進行評價。 以GCIB 朝縱深方向 ...

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