氬離子轟擊下各元素之縱深分佈. 4. 元素在樣品表面之二維分布影像分析. UPS : 1. 紫外光電子能譜測定. AES : 1. 樣品表面元素之分析. 2. 氬離子轟擊下各元素之縱深分佈.
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