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X射線光電子能譜儀 - 科學Online - 國立臺灣大學

X 射線源、樣品室、能量分析器、電子偵測器、資料處理器。 ... 離子槍(ion gun) 的XPS 譜儀就可進行縱深分析，測試縱深方向的元素分布，離子槍的目的 ...

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