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表面分析之微區能譜應用技術-技術移轉-產業服務 - 工業技術 ...

XPS化態分析功能(AnalyserΔE＜25meV)，縱深解析度1nm；AES化態分析功能(Energy resolution ~0.05%)，縱深解析度1nm，成份影像解析度12nm ...

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