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X光光電子能譜儀(XPS) - MA-tek 閎康科技

可由XPS 得知薄膜的成分及比例，同時可搭配氬離子蝕刻作縱深分析。 3. 金屬表面氧化程度及氧化層厚度判定：. 可得知金屬之表面比例、 ...

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