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第三章實驗方法與分析

能精確的分析試片表面深度小於50A 之化學態及元素種類、離子. 槍(ion gun)之操作使用時可以持續進行縱深小於10nm 之表面成分分. 析、Flood Gun 之操作使用時可以降低試 ...

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