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縱深分析
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表面分析儀器
當以試片縱深(或濺蝕時間) 為橫軸,. 對各元素原子濃度作關係圖,分析者便可瞭解試片. 表面至內層的元素組成分佈情形。常用於薄膜材料. 的成分擴散研究,這種縱深成分分析 ...
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