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用于产生结晶方向受控的多晶硅膜的系统和方法- Google Patents

根据本发明的一个方面，紋理结构膜是通过区域熔化再结晶、 固相再结晶、直接淀积法、表面能驱动二次晶粒生长法之一产生的， 或通过脉冲激光结晶法生成。直接淀积法包括 ...

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