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多晶矽結晶法對穿隧式電晶體影響之研究

本碩士論文分為三個研究方向，分別探討多晶矽結晶法對元件效能的提升、. 尺寸微縮對穿隧電晶體電性表現的影響、元件通道結晶法對可靠度研究。 在結晶法部分，金屬誘發 ...

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