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焦電薄膜紅外線感測器| NTU Scholars - 國立臺灣大學

關鍵字: 紅外線感測器;焦電薄膜;濺鍍法;pyroelectric;infrared sensor;Sputtered method ... 氧化鋅則是使用濺鍍原理沉積，並針對感測器不同的製程：如蒸鍍環境、薄膜 ...

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