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三維輪廓及表面粗度量測儀(Surface Profiler)

儀器英文：3D profile and surface roughness measurement instrument. 儀器所屬教授 ... 4.功能:晶片表面輪廓以及粗糙度量測. 5.重要規格: (1).適用晶片：8吋以下. (2).Z ...

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