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表面粗糙度定量測量方法之研究與比較__臺灣博碩士論文知識加 ...

而其結果與未經拋光前的wafer在經Alpha-step初步量測後確實有明顯的差異.於是我們便以Alpha-step, AFM,Heterodyne Profiler System等三種不同的表面粗糙度測量儀器進行 ...

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