1.適用於:大面積表面3D輪廓量測 2.量測項目: 2D/3D表面輪廓,粗糙度,磨耗體積,平坦度,翹曲度,等表面參數量測 3.Z軸量測範圍: 20um-10 mm 可選, 解析: 1nm-300nm.
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