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電漿蝕刻

電漿深蝕刻技術乾式電漿蝕刻於矽基材表面進行加工處理在現今的半導體產業已是相當 ... 漿蝕刻（Plasma Etching）且屬於非等向性蝕刻，所以是目前最常使用的蝕刻方式。

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