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乾式蝕刻 - Jdbar

這種方法是將晶圓板置於真空的化學反應室中,導入所需的蝕刻氣體。 ... 深寬比元件,這是因為溼蝕刻本質而言是屬於等向性蝕刻技術,不但會縱向蝕刻,也會在橫向蝕刻, ...

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