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濕蝕刻與乾蝕刻個案分析與結果－以蝕刻技術為例 - Cuya

因此離子的撞擊不但可以移除被蝕刻的薄膜，也同時會移除光阻罩幕。 ... 製程以下不能使用極小蝕刻輪廓等向性可控制從非等向性到等向性蝕刻速率高尚可，且可控制選擇性 ...

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