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濕蝕刻與乾蝕刻半導體製程技術 - Apfigp

，蝕刻技術可以分為『濕蝕刻』 (wet etching) 及『乾蝕刻』 (dry etching) 兩類。在濕蝕刻中是使用化學溶液，屬於非等向性的蝕刻。蝕刻「乾式」(電漿) 蝕刻是用於 ...

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