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等向性蝕刻
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半導體乾蝕刻技術- TAAZE 讀冊生活
非等向性蝕刻是如何實現?為何Si的蝕刻使用Cl2及HBr,而SiO2的蝕刻則使用氟碳系列的氣體?為何Poly-Si及Al的蝕刻使用ICP(電感耦合式電漿)之類的高密度電 ...
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「等向性蝕刻」
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