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非等向性鎢蝕刻用方法及設備

特別是，需要發展用於非等向性鎢蝕刻(尤其在例如矽氧化物及矽氮化物之介電質材料 ... 在一態樣中，提供在電漿蝕刻設備中非等向性地蝕刻半導體基板上之含鎢材料的方法。

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