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成果報告資料顯示 - 工程科技推展中心

PoPLSE 製程平台研究分為非等向性蝕刻及等向性蝕刻兩部分，在非等向性蝕刻的部分，詳細探討ICP-RIE 各項參數對蝕刻的影響，考量蝕刻之垂直度、側向蝕刻及蝕刻速率等 ...

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