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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告壓電致動無閥式微 ...

... 擴流器，其截面由於等. 向性濕蝕刻(isotropic wet etching)而成半橢圓 ... 圓截面之等向性蝕刻擴流器正好相反，不過 ... 為非等向性蝕刻所產生垂直側壁之方形截面.

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