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The influence of crystalline structure and anisotropic etching ...

一般而言，濕式化學蝕刻依其特性又分為等向性蝕刻與異向性蝕刻，兩者最大的. 差異在於各方向的蝕刻速率是否一致[3]。當基材表面受化學反應作用並以均勻、快速. 的反應方式 ...

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