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反應式離子蝕刻機RIE - ishien vacuum 部落格- 痞客邦

反應式離子蝕刻機RIE（Reactive Ion Etching）介紹【蝕刻原理】 在 ... 電漿蝕刻（Plasma Etching）且屬於非等向性蝕刻，所以是目前最常使用的蝕.

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