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等向性蝕刻
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(19) 中華民國智慧財產局(12)發明說明書公開本(11) 公開編號
一種供等向性蝕刻銅的調配物,其包括包含以下各物之水溶液:(a)二牙、三牙或四牙錯合劑,. 其係選自由二胺、三胺及四胺組成之群;及(b)氧化劑,其中該溶液之pH 值介於約5 ...
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「等向性蝕刻」
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