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等向性蝕刻 - Sauer

PDF 檔案. 在進行蝕刻時如果對每個方向(xyz) 的蝕刻速率都一樣則稱為等向性蝕刻(isotropic etching) ，這種蝕刻線寬會變大而側壁(side wall) 呈弧形，稱額外被蝕刻的部 ...

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