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化學溼蝕刻高深寬比凸角矽結構光罩補償圖形設計 - 國立高雄 ...

本文探討KOH 非等向性蝕刻之矽基體型微細加工（ Bulk. Micromachining），於（100）矽晶圓上製作高深寬比凸角矽結構時，光罩. 補償圖形的設計。在凸形圖形如矩形島塊， ...

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