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石英蝕刻微結構之非等向性研究

而石英的等向性蝕刻(isotropic etching)與非等向性蝕刻(anisotropic etching)的技術製程，也隨著需求尺寸的縮小而逐漸受到重視與普及。而蝕刻也是必須且重要性的一環 ...

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