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矽基板在鹼性溶液中之蝕刻表面形貌與反應機制研究

陳品仰,李昆達,表面形貌,非等向性蝕刻,矽,氫氧化鉀,Surface morphology,Anisotropic etching,Silicon,Potassium hydroxide,在先進半,月旦知識庫,整合十大資料庫交叉 ...

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