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先進微影技術的發展（二）：奈米壓印與定向自組裝 - Digitimes

除了純粹光學的方法外，還有其他方法也可以用來定義半導體的精細圖案。 ... 化學機制與材料，更多基礎科學的投入才能容許半導體產業走更長遠的路。

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