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製備中孔洞材料應用於磷化氫氣體的吸附與感測 - 博碩士論文網

近年來半導體產業蓬勃發展，產生了相當可觀的有毒廢氣，例如PH3。這些氣體對於晶圓本身以及人體都具有相當大的毒害，為了解決PH3造成的危害，近年來的研究發現氧化銅 ...

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