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磊晶目的
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http://www.naipo.com/Portals/1/web_tw/Knowledge_Center/Research_Development/publish-69.htm
北美智權報第111期:TRIZ與半導體製程技術(三)
本案所討論的磊晶(epitaxial)技術是半導體元件製程的前導步驟之一,其技術 ... 清單內,使其連續地依照指令順序進行操作,即可實現該磊晶製程之目的。
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