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磊晶目的
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利用快速熱熔磊晶法製備鍺錫合金結構於矽基板上
四族材料近年被熱烈討論及研究,因為其能被有效運用在電子及光電元件上面,且這種材料具有最大的優勢為可以有效方便的整合在矽基板上,這對IC產業之後的發展是非常關鍵 ...
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