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磊晶目的
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第三代半導體材料趨勢及展望 - Tainergy
結構特性好,磊晶材料與基板的晶體結構相同或相近、晶格失配 ... 化學穩定性好,在磊晶生長的溫度和氣氛中不容易分解和腐蝕; ... 率的目的。
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