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磊晶目的
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https://www.airitilibrary.com/Publication/alDetailedMesh?docid=U0016-0312201510310780
運用應力補償層及奈米結構技術於新型GaN磊晶矽基板之研究
有鑑於此首先透過矽基板背面鍍膜驗證應力補償層的概念,在此針對兩種材料(氧化鋁及氮化矽)做討論,先行創造出預翹曲矽基板(pre-bow wafer)作為後續磊晶基板使用,目的 ...
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